产品与服务
Products and Services
ZQ-HM系列
ZQ-HM系列高流量超纯氢气纯化器针对电解水制氢和瓶装粗氢等多种来源的含氢原料气,实现全自动化超纯氢制备,能够充分发挥膜纯化方式的经济、高效和稳定等优势,性能达到国际领先水平
适用领域:第三代半导体、光伏等领域。
高纯度
高安全
自动化
流量监测
· 采用膜分离技术
· 氢气纯度可达>99.9999999%
· 露点<-100°C。
· 具有多种报警功能(超压报警氢气泄露报警、纯度低、报警等)
· 超温断电
· 报警历史记录
· 一键启停,无需人值守
· 氢气输出流量、压力可调
· 随时可增加并联机器
· 一体化运输,易安装
· 自动监测压力、流量
· 实现数据自动记录与存储
产品参数
型号
ZQ-HM-5ZQ-HM-10ZQ-HM-30ZQ-HM-60ZQ-HM-100
ZQ-HM-XX(定制)

额定产氢量(L/min

5103060100
>100

产品氢压力(MPaG

0.1-20.1-20.1-20.1-20.1-20.1-2

原料氢纯度(Vol%

≥99≥99≥99≥99≥99≥99

产品氢纯度(Vol%

>9N>9N>9N>9N>9N>9N
使用寿命(h)
>40000>40000>40000>40000

尺寸长x宽x高(mm)

1100x950x1900

1350x1000x1900
1700x1300x1900/
重量(kg)260280
340/
运行能耗(kWh)
1.5
2.65.510.0
18.0/
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