适用领域：MOCVD法制备半导体、LED晶圆制造、晶体生长等

产品特点：
超纯保障
-“手撕钢”级高品质钯管膜氢气纯化技术
-产品氢气纯度>9N，O₂,H₂O,CO,CO₂,N₂,CH₄,NMHCHe,Ar去除至＜1ppb

超长寿命
-超耐H₂O和O₂、抗压力和用氢量波动、抗意外停电
-使用寿命≥80000 h

超高安全
-氮气吹扫保护、氢气传感器报警、压力和流量监测
-PLC触摸屏操控，支持数据存储与故障追溯
-整机防爆、高集成、易运维、静音设计、环境友好

超快响应
-全周期工艺适配支持：覆盖售前选型指导、售中标准化安装调试、售后“一机一档”专业维保
-快速响应，售后无忧：提供7*24小时全天候支持，24小时闭环解决方案，36小时内解决常规故障

全面的产品和体系证书
质量管理体系符合: ISO: 9001: 2015
环境管理体系符合: ISO: 14001: 2015
职业健康与安全管理体系符合: ISO: 45001: 2018