产品与服务
Products and Services
ZQ-HPE系列
核心产品:半导体领域的氢气纯化设备—9N级超纯。
采用自主研发的金属膜材料,开发了9N级超纯氢气纯化设备,匹配CVD制备GaAs、InP、GaN、SiC基半导体,具有9N级超纯、高稳定、长寿命、易维护等优势。
对标意大利SAES、日本JPC、英国Johnson Matthey等钯膜氢气纯化设备,国产替代进口,填补空白,解决高端半导体制备的卡脖子难题。
20-120 Nm³/h系列化标准设备。
产品参数
型号ZQ-HPE-20ZQ-HPE-30ZQ-HPE-60ZQ-HPE-120
产品氢流量(Nm³/h)0-200-300-600-120
产品氢压力(MPaG)0.1-10.1-10.1-10.1-1
产品氢温度(℃)<60<60<60<60
产品氢纯度(Vol%)≥9N≥9N≥9N≥9N
露点温度(℃)<-100<-100<-100<-100
使用寿命(年)纯化单元使用寿命>5年,设备使用寿命>10年
冷态启动时间(h)<1
气源品质气源品质(2N-3N)需根据具体成分分质处理;气源品质(≥5N)可直接接入
长 × 宽 × 高(mm)1800×800×20003000×800×2000
备注表中仅列出标准型号,更多需求请与中氢新能源联系
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