产品与服务
Products and Services
ZQ-UPHG-ALK
将ALK碱性电解水制氢与膜分离氢气纯化技术高度集成,制氢与纯化一体化,高效制取9N级超纯氢气。采用风光等可再生能源发电,ZQ-UPHG-ALK制氢,有望成为半导体等领域超纯氢供给的新模式,大幅度降低用氢成本,提高用氢安全。与ZQ-UPHG-PE一体机(L/min)相比,ZQ-UPHG-ALK一体机主要面向制氢量大的场景(Nm³/h)。
适用领域:CVD法制备第三代半导体、LED、LCD、光伏异质结、TOPCon等;电解水制氢加氢一体站等。
超纯度
长寿命
智能化
人性化
· 采用ALK+膜纯化技术
· 产品氢纯度 ≥ 99.9999999%
· 露点<-100 ℃
· “手撕钢”级高性能金属膜
· 碱性电解槽安全可靠
· 连续工作寿命>5年
· 一键启停、无人值守、远程操作
· 自动压力平衡控制
· 温度、压力、流量自动控制
· 高集成、易运维
· 静音设计、环境友好
· 界面友好、易交互
产品参数
型号ZQ-UPHG-ALK20ZQ-UPHG-ALK60ZQ-UPHG-ALK100ZQ-UPHG-ALK300
产氢量(L/min)
0-200-600-1000-300
产品氢压力(MPaG)≥0.6≥0.6≥0.6≥0.6
产品氢纯度(Vol%)≥9N≥9N≥9N≥9N
产品氢露点(℃)<-100<-100<-100<-100
使用寿命(年)纯化单元使用寿命>3年,设备使⽤寿命>10年
长 × 宽 × 高(mm)2500×2000×2000
3200×2000×20004000×2000×20007000×2000×2000
重量(kg)750
900
1200
2000
备注表中仅列出标准型号,更多需求请与中氢新能源联系
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