产品与服务
Products and Services
ZQ-HPE-ALK系列
与传统吸附剂氢气纯化技术相比,金属膜氢气纯化具有氢气纯度更高、露点更低,对原料氢气的纯度要求更低等优势。与传统“鱼雷车供氢+吸附剂氢气纯化”路线相比,“电解水制氢+膜分离氢气纯化”路线,可以大幅度降低LED/LCD等半导体领域超纯氢的供给成本。
适用领域:CVD法制备第三代半导体、LED、LCD、光伏异质结和Topcon电池片;电解水制氢加氢一体站等。
产品参数
型号ZQ-HPE-ALK20ZQ-HPE-ALK60ZQ-HPE-ALK100ZQ-HPE-ALK300
产氢量(L/min)20
60
100
300
产品氢压力(MPaG)0.1-10.1-10.1-10.1-1
产品氢纯度(Vol%)≥9N≥9N≥9N≥9N
产品氢露点(℃)<-100<-100<-100<-100
使用寿命(年)
纯化单元使用寿命>3年,设备使用寿命>10年
长× 宽 × 高(mm)1200×1000×20001500×1200×20001800×1500×20002500×2000×2000
重量(kg)350
480
560
800
备注表中仅列出标准型号,更多需求请与中氢新能源联系
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